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光學(xué)鍍膜機電子槍安裝與維護

2019-01-08  來自: 肇慶高要區(qū)恒譽真空技術(shù)有限公司 瀏覽次數(shù):1658

光學(xué)鍍膜機電子槍安裝與維護:

  一、電子槍安裝與維護

  電子槍蒸發(fā)源控制系統(tǒng)是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅(qū)動電源、蒸發(fā)源等組成一個電子槍控制電樞。

  電子槍控制電樞內(nèi)含有高壓,在工作前必須保證柜門各個聯(lián)鎖裝置正常工作,非專業(yè)人員不得打開電樞門,電子槍在工作時不得打開電柜門,整個電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。

  電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上,必須與底板有良好的接地效果,安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來固定,周邊200mm以內(nèi)不得有導(dǎo)磁的物體,否則會影響到電子槍的光斑成表,造成電子性能的不良。電子槍檔板應(yīng)盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處,以不影響電子束的發(fā)射為好。

  電子槍蒸發(fā)源是一個精密機械加工體,在工作時必須保證有良好的冷卻水,如過高的溫度會影響電子束的成型及各密封圈的性能。

  (一)電子槍頭

  電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進行,其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。

  電子槍槍頭有使用一段時間后,會因為組件的污染而影響電子束的成型及功率,需要拆卸清潔。

  (二)坩堝的維護

  拆坩堝之前,請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內(nèi)的水分盡可能吹干凈。

  蒸發(fā)源裝卸順序:

  1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線兩個螺絲。3.拆坩堝傳動連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運到一個穩(wěn)定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個螺絲,取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉(zhuǎn)過來倒置,用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉(zhuǎn)動四個螺絲10.抬起蒸發(fā)源,取下坩堝 11.把坩堝倒置,擰下坩堝底蓋的八個螺絲,清洗干凈里面的污垢,檢查是否需要近密封圈。12.擰下導(dǎo)水管的一個螺絲13.擰下坩堝轉(zhuǎn)動機構(gòu)與坩堝蓋板連接的四個螺絲 14.撥出坩堝轉(zhuǎn)動軸,檢查轉(zhuǎn)動軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過順序來進行。

  (三)導(dǎo)磁板及掃描圈的維護

  導(dǎo)磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護,如需拆卸,請注意永磁鐵的極向,及導(dǎo)磁板的方向。線圈由于安裝的空間密實,請不要使用硬尖的東西撬動,否則有可能會造成損壞。

關(guān)鍵詞: 光學(xué)鍍膜機

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