磁控濺射鍍膜常見毛病及解決辦法

　　1.無法起輝

　　(1)直流電源毛病，查看直流電源;

　　(2)氬氣進氣量小，查看氬氣流量計或加大氬氣進氣量;

　　(3)真空室清潔度不行，清潔真空室;

　　(4)靶材絕緣度不行，查看靶是否與地短路，在通水的情況下，對地電阻應該在 50kΩ以上;

　　(5)磁場強度不行，查看永磁體是否消磁;

　　(6)真空度太差，查看真空體系。

　　2.輝光不穩

　　(1)電壓電流不穩，查看電源;

　　(2)真空室壓力不穩，查看氬氣進氣量及真空體系;

　　(3)電纜毛病，查看電纜是否連接良好。

　　3.成膜質量差

　　(1)基片外表清潔度差，清潔基片外表;

　　(2)真空室清潔度差，清潔真空室;

　　(3)基片溫度過大或過小，查看溫控體系，校準熱電偶;

　　(4)真空室壓力過大，查看真空體系;

　　(5)濺射功率設置不當，查看直流電源，設置何事的設定功率。

　　4.濺射速率低

　　(1)氬氣進氣量過大或過小，調查輝光色彩可以判定氬氣是過大仍是過小，據此調整氬氣進氣量;檢修流量計;

　　(2)靶材過熱，查看冷卻水流量;

　　(3)查看永磁體是否消磁。